什么是旋转磁控柱状阴极电弧源　　

              对于弧源或许我们大多数的人并不是很了解它是什么，但是带有源字的其实有可能是电源中的一种。不管我们蚽对它有一定的了解。但是它的出现肯定是有一定珠作用的。下面我们来简单是的了解下什么是旋转磁控柱状阴极电弧源吧。旋转磁控柱状阴极电弧源是一种应用于多弧离子镀、渗设备中的柱状阴极电弧源。包括管状阴极靶材、管内安装的平行于轴线的数根条形磁钢、磁钢整体做旋转运动。其特征是当引弧电极引燃冷场致电弧放电后，阴极电弧弧斑呈平行于柱状弧源轴线的细长光斑轨迹沿管状靶材表面扫描，靶材烧蚀均匀，靶材利用率高。比旋转磁控溅射柱状靶的沉积速率高，金属离子化率高，更易于反应沉积，获得氦化钛等化合物涂层。