多弧离子镀弧源靶的工作原理是什么呢

          或许我们对于如今的许多产品并不是怎么了解，就比如说多弧离子镀弧源靶这个，我们许多人都不是很了解。而它的工作原理是什么呢？多弧离子镀弧源靶的工作原理是气体低压弧光放电，一般来说多弧离子镀膜机均以连续式弧光放电进行薄膜沉积，而Bulat-6的弧源靶能够分别以连续式弧光放电或脉冲式弧光放电的方式作用。在脉冲式弧光放电工作时，脉冲放电时间在1-10s，脉冲间隔时间在3-21s之间连续可调。采用脉冲弧光放电工作的优点是：首先，由于热斑在靶村表面停留时间极短，靶村冷却充分温升低，因此靶料液滴飞溅数量和尺寸都大为减少。然后，办的利用三个靶的脉冲式或连续式弧光放电，方便地制备成分可控的组元复合膜各多层叠加膜，实现硬度梯度有序过渡。