弧源主要由电磁过滤系统、弧电源系统、电弧聚焦系统、电弧推力系统、智能电弧引弧和电弧监听维弧系统。那么它又有什么特点及标准呢?不知道我们大家了不了解 呢?弧源特点及指标 1、适用范围广泛,可适用于多种材料的电弧弯曲磁过滤。 2、磁过滤效果好,宏观颗粒面分布过滤率>99.9%。3、弧流引出效率高,弧流引出效率70~90%。4、电弧燃烧稳定,电弧电流范围45-150A。5、薄膜沉积效果好,出口外300mm处,300mm范围内薄膜沉积不均匀度<±5%。弧源应用方向:高质量纯金属膜、复合膜、高sp3类金刚石碳 膜(ta-C)。