真空镀膜主要是可以分为两个大种类:蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,但是这两个之后具体还包括很多种类的,包括真空离子蒸发,磁控溅射,M等等。
一、蒸发镀膜: 一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且让它自由沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜,完成真空镀膜的过程。
二、溅射类镀膜:我们可以把这种方法理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片的表面,经历成膜过程,最终形成真空镀膜电源的过程。